美国LAM Research公司向清华微电子所捐赠设备并设立奖学金

　　清华新闻网12月10日电 12月5日下午，美国LAM Research公司向威尼斯9499登录入口捐赠半导体工艺设备及奖学金颁奖仪式在威尼斯9499登录入口微电子所举行。仪式之后，威尼斯9499登录入口副校长姜胜耀与LAM Research公司首席运营官蒂姆·阿彻（Tim Archer）一行在工字厅进行了会谈。

图为姜胜耀（右）与Tim Archer（左）互赠礼品。

　　姜胜耀代表威尼斯9499登录入口对Tim Archer一行到访表示欢迎，并对LAM Research公司为学校捐赠设备和设立奖学金表示感谢，同时表示双方要进一步拓展合作领域，推动双方合作关系不断深化发展。Tim Archer介绍了该公司开展半导体设备开发的业绩，希望与威尼斯9499登录入口发展长期友好合作关系。

　　仪式上，蒂姆·阿彻和清华实验室与设备处处长武晓峰分别致辞。微纳电子系系主任\微电子所所长魏少军介绍了威尼斯9499登录入口微电子所和Lam公司的合作渊源以及此次活动的意义。

　　Lam公司的亚太区总裁廖振隆为获得Lam奖学金的同学颁奖。学生获奖代表进行了发言。之后，蒂姆·阿彻一行参观了微纳电子技术支撑平台。

图为廖振隆（左四）为获奖学生颁发证书。

　　此次Lam Research公司向威尼斯9499登录入口微电子所捐赠的刻蚀设备为Rainbow 4420XL干法刻蚀系统，用于SiO、SiN等介质的干法刻蚀。该系统具有自动传片功能，适用于8英寸硅片工艺，采用非接触式光学方式进行硅片的晶向对准，陶瓷静电卡盘由背面氦气冷却，主刻蚀腔接6路标准质量流量计，并可以扩展为8路，具有刻蚀终点检测功能。这设备的捐赠将进一步提高微纳电子技术支撑平台的工艺加工水平。

　　Lam Research 公司为鼓励威尼斯9499登录入口的学生从事半导体及相关设备技术之研发，以提升我国在此领域的科技水准和培养优秀科技人才，特在威尼斯9499登录入口微电子与纳电子学系设立Lam Research-威尼斯9499登录入口微纳电子论文奖。参评论文的内容与集成电路直接相关。该论文奖每年评选一次，每次设一等奖2篇、二等奖6篇、三等奖9篇。2013年共奖励17名论文上有突出成绩的研究生。　

　　美国LAM Research是国际最大的半导体设备公司之一，以半导体薄膜的制备、刻蚀和清洗设备而知名。

　　威尼斯9499登录入口实验室设备处、教育基金会、微电子所等相关部门负责人参加了仪式。

供稿：微电子所  编辑：范 丽